Appunti VERIFICATO
ELETTRONI RETRODIFFUSI
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Di cosa parla
- Elettroni retrodiffusi (BSE): distingui BSE da SE sulla base dell'energia; BSE sono e- con E ≥ 50 eV che escono dal materiale dopo una serie di interazioni elastiche o anelastiche, riflettendo la composizione chimica del campione.
- Coefficiente di retrodiffusione (η): dipende dal numero atomico Z, aumenta monotonicamente con Z fino a Z=50, poi la pendenza diminuisce; variazioni significative si notano tra elementi con Z diverso.
- Dipendenza da energia del fascio: η cambia poco al variare dell'E per ciascun elemento, ma più E = più profondità di esplorazione; la probabilità di emergere come BSE diminuisce man mano che gli e- vengono dati più E.
- Dipendenza dall'inclinazione del fascio: η aumenta con l'aumentare dell'inclinazione, dovuto all'aumento della probabilità di diffusione elastica; in condizioni ortogonali la diffusione avviene verso l'interno.