Riassunti VERIFICATO
appunti di bionanotecnologie
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Di cosa parla
- Tecniche litografiche: trasferimento di un disegno preciso da una maschera su uno strato polimerico sul substrato.
- Processi litografici chiave: lucidatura del wafer, esposizione alla radiazione (UV o X-rays), sviluppo selettivo del resist.
- Tecniche di esposizione: in contatto, a distanza per proiezione, maschere a scale di grigio per ottenere geometrie complesse.
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